在半導體工業領域,力士樂提供了世界上*全面的傳動與控制元件,包括電子傳動與控制,氣動及線型傳動與組裝技術。模塊化的設計理念大大地簡化了客戶的開發工作,使您能*快地將產品推向市場。
針對半導體工業的特殊工藝,我們有一整套**的解決方案,包括用于實現晶圓加工所需的平滑運動、以非接觸方式輸送物料、納米級的定位精度等等。
我們遍布全球的銷售與技術支持團隊具有豐富的實踐經驗。我們將竭誠為您服務,是您*可信賴的合作伙伴。
應用:晶圓搬運
高剛度,無過沖,無間隙:力士樂晶圓裝卸解決方案的設計,**地實現了高頻 響的伺服驅動器、高剛度的線性子系統及氣動執行器之間的協調一致。力士樂NYCe 4000運動控制系統,可降低機器總體花費得利于小巧精悍的機身。模塊化的機器,整合低板,甚中可以在沒有硬件的情況 下,通過模擬環境測試自己的軟件,不必等到硬件安裝就緒即可繼續程序的開發。
應用要求:
-無振動平滑運動
-精確定位
-高速運動
-結構緊湊,節省空間
解決方案:
-NYCe4000專為半導體工業開發的高精度運動控制系統
-同步伺服電機/直線電機/步進電機
-滾珠導軌導向系統
-微型氣動閥LS04
優點:
-高階曲線算法使運動*其平滑
-高動態響應的驅動系統確保運動的穩定性
-模塊化的組件簡化了產品設計,提高了您的開發效率
-力士樂提供全套解決方案,包括電控及機械部件,方便您的采購和維護